발명 특허/특허출원_특허등록/배기용 히팅 파이프 특허등록_발명특허무료상담서비스, 변리사사무소(하늘특허)

발명 특허

특허출원_특허등록/배기용 히팅 파이프 특허등록_발명특허무료상담서비스, 변리사사무소(하늘특허)

특허출원_특허등록/배기용 히팅 파이프 특허등록_발명특허무료상담서비스, 변리사사무소(하늘특허)

(51) Int. CL H01L 21/02(2006.01)

(21) 출원번호/일자 1020110018775 (2011.03.03)

(71) 출원인 권영선

(11) 등록번호/일자 1010466170000 (2011.06.29)

(65) 공개번호/일자

(11) 공고번호/일자 (2011.07.05) 

(86) 국제출원번호/일자

(87) 국제공개번호/일자

(30) 우선권정보

최종처분내용 등록결정(일반)

등록사항 등록

심판사항

구분/원출원권리 신규 /

원출원번호/일자

Family 출원번호  

기술이전 희망

심사청구여부/일자 Y(2011.03.03)

심사청구항수 2

 

본 발명은 반도체 공정 설비의 챔버에서 배기 덕트로 기체를 배기하는 통로로 구성되는 파이프를 충분한 고온으로 가열할 수 있고 유지 관리가 용이한 구조로 개선한 배기용 히팅 파이프를 개시하며, 상기 배기용 히팅 파이프는, 반도체 공정에 이용된 기체를 배기하는 설비의 배기구와 배기 덕트의 유입구 사이에 연결되면서 가열 상태로 유입되는 상기 기체가 이송되는 통로를 제공하는 금속 재질의 배관; 상기 배관의 양단에 각각 결합되며 둘 중 하나는 상기 설비의 상기 배기구와 결합되고 나머지 하나는 상기 배기 덕트의 유입구에 결합되며 테프론 관체의 양단에 플랜지 링이 결합된 구성을 갖는 테프론 일체형 플랜지들; 상기 테프론 일체형 플랜지들 사이의 상기 배관의 외면에 밀착되도록 스프링 형태로 권취되는 열선인 미네랄 인슐레이티드 케이블(Mineral insulated cable); 파이버 글래스 피복(Fiber glass cloth) 또는 실리카 피복(Silica cloth) 중 어느 하나의 재질을 갖는 케이스, 세라믹 울(Ceramic wool)이나 파이버 글래스(Fiber glass) 중 하나 이상을 포함하는 상기 케이스 내의 단열재 및 상기 케이스를 여닫는 지퍼를 포함하는 재킷; 및 상기 재킷 내에 상기 열선에 인접되게 설치되는 온도 센서;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

번호

청구항

1

반도체 공정에 이용된 기체를 배기하는 설비의 배기구와 배기 덕트의 유입구 사이에 연결되면서 가열 상태로 유입되는 상기 기체가 이송되는 통로를 제공하는 금속 재질의 배관; 상기 배관의 양단에 각각 결합되며 둘 중 하나는 상기 설비의 상기 배기구와 결합되고 나머지 하나는 상기 배기 덕트의 유입구에 결합되며 테프론 관체의 양단에 플랜지 링이 결합된 구성을 갖는 테프론 일체형 플랜지들; 상기 테프론 일체형 플랜지들 사이의 상기 배관의 외면에 밀착되도록 스프링 형태로 권취되는 열선인 미네랄 인슐레이티드 케이블(Mineral insulated cable); 파이버 글래스 피복(Fiber glass cloth) 또는 실리카 피복(Silica cloth) 중 어느 하나의 재질을 갖는 케이스, 세라믹 울(Ceramic wool)이나 파이버 글래스(Fiber glass) 중 하나 이상을 포함하는 상기 케이스 내의 단열재 및 상기 케이스를 여닫는 지퍼를 포함하는 재킷; 및 상기 재킷 내에 상기 열선에 인접되게 설치되는 온도 센서;를 구비하는 것을 특징으로 하는 배기용 히팅 파이프.

 

특허, 실용신안, 디자인, 의장, 상표, 상호, 특허출원, 특허등록,

실용신안출원, 실용신안등록, 디자인출원, 디자인등록, 상표출원, 상표등록

 

[하늘특허법률사무소]특허/실용신안/디자인(의장)/상표(상호)

무료상담전화 국번없이 1566-5459